3d形貌轮廓仪大尺寸微观形貌干涉测量应用

SuperViewW3 3d形貌轮廓仪 以白光干涉技术为原理，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。它是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器，为半导体微观检测提供自动化解决方案。

产品参数

产品型号：SuperView W3

产品名称：白光干涉仪

原理：非接触、三维白光扫描干涉仪

扫描装置：长范围，Z轴纳米光栅控制

物镜：Nikon，10×无限远共轭干涉物镜

物镜座：5孔电动物镜塔台（标准）

测量阵列：1024*1024，工业级相机

Z轴：100mm行程，纳米位移闭环反馈

安全性：系统集成紧急制动功能

样品台：0.1nm电动，俯仰倾斜±6°，电动调节，XY行程300*300，尺寸450*450mm，亚微米闭环反馈

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

产品功能

1. 一体化操作的测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行测量，软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量测量功能。

2. 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3. 测量中提供拼接测量功能。

4. 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能；滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能；提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5. 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能；几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能；结构分析包括孔洞体积和波谷深度等；频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能；功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

6. 分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能，设置分析模板，结合测量中提供的自动测量和批量测量功能，可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

SuperViewW33d形貌轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。