中图轮廓测量仪一键测量三维形貌 干涉仪

中图仪器研发生产的三维轮廓测量仪是以白光干涉技术原理，分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。中图轮廓测量仪专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

测量原理

光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光 终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

产品参数

产品性能特征

1、高精度、高重复性

3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统，以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统，保证了测量精度和测量重复性。

2、一体化操作的测量分析软件

测量数据自动统计，可视化窗口，结合自定义分析模板的自动化测量功能，实现了快速批量测量的功能，自动完成多区域的测量与分析过程。

3、精密操纵手柄

集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。

4、双重防撞保护措施

（1）软件防撞保护ZSTOP

即在Z轴上设置停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。

（2）Z轴硬件防撞传感器

在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。

信息化时代下，测量技术是科学技术发展和国民经济提高的关键与基础，尤其是测量型仪器仪表，可以说是信息产业的源头和重要组成部分。

深圳中图轮廓测量仪为工件的微观三维形貌和表面特征分析提供可靠依据，降低了劳动强度，提髙了生产效率。同时多种功能使得测量方便准确。一键式测量及分析，并自动生成测试报告后，不但节约了大量资金，易于维护，方便工人操作；又提高了产品的质量，提升效率，是现代化常用的检测设备。